Vakgebied/thema: Exact en medisch
Cursus natuurkunde
Naam docent: dr. Wim van der Zande
Lithografie is een techniek waarbij informatie van een origineel (reticle) vele malen wordt afgebeeld op een ‘wafer’, een silicium plaat. Dit proces genereert chips voor logica, voor geheugen en voor allerlei andere toepassingen. In deze cursus gaat het niet over de chips en hun eigenschappen, maar over de machines en de bizarre natuurkundige eisen waaraan die moeten voldoen. In de huidige logicachips zitten wel 10 miljard transistoren, die allemaal moet werken. Welke instrumentatie en technieken zijn hiervoor nodig? U bekijkt dit vanuit verschillende gezichtspunten. Zowel de natuurkunde achter lichtbronnen, de natuurkunde achter het maken van afbeeldingen van details kleiner dan de golflengte, als de natuurkunde achter procescontrole en mechatronica komen allemaal aan bod.
Meer over deze cursus
Inhoud
Data, kosten en inschrijven
Alle cursussen Exact en medisch
Afbeelding: ASML