In deze cursus bekijkt u lithografie en de onderliggende wetenschap en techniek van verschillende gezichtspunten.
Onderwerpen die aan de orde komen:
- Historisch perspectief van de computer en lithografie. De wet van Moore.
- De rol van machinebouwers in de industriële wereld van chips, computers en software.
- De achtergrond en primaire uitdaging van lithografie: details afbeelden terwijl de natuurwetten dat niet toestaan.
- Wat is elektromagnetische straling, in het bijzonder extreem ultraviolette straling?
- Lichtbronnen en de race naar steeds kortere golflengtes
- Een laser als lichtbron: lithografie in het diepe ultraviolet, 193 nm
- Een lichtbron met een temperatuur gelijk aan een neutronenster: extreme ultraviolet
- Afbeeldingen van details in de buurt van of kleiner dan de golflengte: de rol van diffractieverschijnselen, de rol van resist en subtiele correcties.
- Optiek bij extreem ultraviolette golflengte: hoe werkt het afbeeldingsprincipe
- Waar zit wat in een chip: bewegende wafers in een lithografiemachine. Nauwkeuriger dan een fractie van een haardikte.
- Waar zit wat in een chip: bewegende wafers in een lithografiemachine. De rol van plakken en vasthouden van wafers.
- Natuurkundige eigenschappen van extreem ultraviolette straling. Wat doet dit licht in materie?
- Controle van het lithografieproces op de nanometer nauwkeurig: hoe werkt dat en waarom?
De cursus is bedoeld voor iedereen met interesse in natuurkunde en techniek. Er is een balans tussen het uitleggen van hoe de natuur werkt en hoe het menselijk vernuft in staat is de grenzen op te zoeken.
Onderwijsvorm: 4 hoorcolleges met gelegenheid tot het stellen van vragen
Studiebelasting: nihil.
Verwachte voorkennis: Belangstelling in exacte vakken is noodzakelijk. Enige kennis van wiskunde (4 VWO, 5 HAVO) maakt het eenvoudiger om de techniek te volgen. Bij elk onderwerp probeert de docent verschillende niveaus van kennis en inzicht aan te bieden, zodat iedereen naar huis gaat met het gevoel: “leuk, dat wist ik niet!”
Meer over deze cursus
Inleiding
Data, kosten en inschrijven
