Sorry! The information you are looking for is only available in Dutch.
Deze opleiding is bewaard in Mijn studiekeuze.
Deze opleiding kan niet bewaard worden.
Je bent nog niet ingelogd in Mijn studiekeuze. Log in of maak een account aan om jouw opleidingen op te slaan.
Er gaat iets mis, probeer het later nog een keer.

NWO-subsidie voor variabele-golflengte laser

3 maart 2022
ARCNL en projectleiders Oscar Versolato, Stefan Witte en Wim Ubachs van VU Amsterdam hebben financiering ontvangen van het NWO Open Technologieprogramma (OTP) voor hun project 'Plasma aangedreven door variabele-golflengte laser voor volgende generatie EUV-bronnen binnen nanolithografie'. De kosten voor het project bedragen in totaal 775.000 euro.

Plasma bestaande uit vloeibare microscopisch kleine tindruppels die geproduceerd zijn met behulp van een laser, genereert het extreem ultraviolet (EUV) licht dat gebruikt wordt in de modernste EUV-lithografie. Het gebruik van dit extreem korte EUV-licht met een golflengte van 13,5 nanometer maakt de voortzetting mogelijk van de miniaturisering van halfgeleiderapparatuur volgens de wet van Moore.

Optimale lasergolflengte
Met dit project willen de onderzoekers achterhalen wat de optimale lasergolflengte is om dit soort plasma aan te drijven, door de fundamentele grenzen te verkennen van de omzetting van 'drive' laserenergie naar bruikbaar EUV-licht. Hiervoor ontwikkelen ze een krachtige laser met een lage herhaalfrequentie die in het laboratorium in vaste toestand kan worden gebruikt en die flexibel is qua golflengte en spatiotemporele stralingsprofiel. Deze laser zorgt voor microscopische druppels tinplasma die EUV-licht produceren. Versolato licht toe: “Dankzij deze financiering kunnen we onderzoek doen naar het gebruik van vastestoflasers om licht te produceren aan de hand van plasma, oftewel, fundamenteel onderzoek dat direct toepasbaar is.”

Over het Open Technologieprogramma
Door middel van het OTP stelt het NWO-domein Toegepaste en Technische Wetenschappen (TTW) financiering beschikbaar voor excellent onderzoek, met het oog op mogelijke toepassing van de resultaten. Het programma geeft bedrijven en andere organisaties een laagdrempelige manier om aan te sluiten bij wetenschappelijk onderzoek dat moet leiden tot toepasbare kennis. Lees het NWO nieuwsbericht.