Deze cursus laat u kennismaken met de natuurkunde en techniek die schuilgaan in de moderne lithografie van ASML. De nadruk ligt daarbij op de onderliggende natuurkundige principes.
Onderwerpen die aan bod komen:
- Historisch perspectief op de ontwikkeling van computer en lithografie, inclusief de wet van Moore
- De rol van machinebouwers in de industriële wereld van chips, computers en software
- Lasers als lichtbron, met als voorbeeld lithografie in het diepe ultraviolet (193 nm)
- Extreme ultraviolette straling (13,5 nm) als lichtbron, met temperaturen vergelijkbaar met die van een hete ster
- Het afbeelden van structuren ter grootte van of kleiner dan de golflengte van licht: diffractie, beeldvorming en belichting van de resist
- Afbeelden bij extreme ultraviolette golflengten: de werking van EUV-spiegels
- Bewegende wafers in een lithografiemachine: positioneren en verplaatsen met een nauwkeurigheid tot op een fractie van een haardikte
De natuurkundige basis komt aan bod in de volgende onderwerpen:
- Mechanica: een inleiding
- Elektromagnetische straling: wat is het.
- Optica: wat is afbeelden
- Lichtbronnen: lasers versus gloeilampen
- Natuurkunde van plasma: de vierde (geladen) toestand van materie.
- Voorbeelden van natuurkunde van materialen.
Deze cursus over nanolithografie is bedoeld voor iedereen met interesse in natuurkunde en techniek. De cursus illustreert ook in bredere zin hoe inzicht in natuurwetten en menselijk vernuft samen de grenzen verleggen. Een historisch perspectief op de natuurkunde verdiept deze kennis.
Onderwijsvorm: 5 hoorcolleges met ruimte voor vragen aan het einde van elk college.
Studiebelasting: circa 2 uur per week.
Literatuur: Gedrukte syllabus.
Verwachte voorkennis: Belangstelling in exacte vakken is noodzakelijk. Enige parate kennis van wiskunde (4 VWO, 5 HAVO) maakt het makkelijker om de techniek te volgen. Bij elk onderwerp streeft de docent ernaar verschillende niveaus in kennis en inzicht aan te bieden, zodat iedereen naar huis gaat met: “Leuk, dat wist ik niet.”.
Meer over deze cursus
Inleiding
Data, kosten en inschrijven
