Turning Metal into Light: The Story of EUV Plasma
Metaal omzetten in licht: Het verhaal van EUV‑plasma
Microchips zitten in alles om ons heen, en om die steeds kleiner, krachtiger en zuiniger te maken, hebben we extreem precies licht nodig. Hoogleraar EUV-plasmaprocessen Oscar Versolato kijkt met zijn onderzoeksgroep hoe zij dat speciale, extreem ultraviolette licht kunnen maken door microscopisch kleine druppeltjes gesmolten tin om te zetten in een soort mini zon: een heet plasma dat fel licht uitstraalt.
Wij bestuderen de natuurkunde achter dat proces, vanaf de basisprincipes tot de toepassing uiteindelijk in geavanceerde machines die microchips ‘printen’. Zo dragen we bij aan nieuwe technologie mogelijk gemaakt door samenwerking tussen universiteit, overheid en industrie.