Sorry! The information you are looking for is only available in Dutch.
Deze opleiding is opgeslagen in Mijn Studiekeuze.
Er is iets fout gegaan bij het uitvoeren van het verzoek.
Er is iets fout gegaan bij het uitvoeren van het verzoek.

Peter Kraus ontvangt NWO-subsidie voor het visualiseren van structuren in chips

1 mei 2023
VU-natuurkundige en ARCNL-groepsleider Peter Kraus heeft financiering ontvangen van het NWO Open Technologieprogramma voor het project 'Integrated nanophotonic and extreme-ultraviolet access to semiconductor metrology' (NANOXUV). NWO heeft 1 miljoen euro toegekend aan het NANOXUV-project.

De miniaturisering van micro-elektronica gaat zo snel dat het steeds moeilijker wordt om de kleinste geproduceerde details te visualiseren, wat cruciaal is om computerchips sneller en hun productie efficiƫnter en dus duurzamer te maken. In NANOXUV zullen de onderzoekers nieuwe lichtbronnen op basis van een korte golflengte ontwikkelen die het mogelijk maken deze structuren te zien. Verder zullen zij beginnen met het ontwerpen van op maat gemaakte structuren die zelf kortgolvige straling uitzenden die de structurele parameters van de genererende structuur codeert.

Peter Kraus is verheugd zijn onderzoeksproject samen met medeaanvrager Femius Koenderink (AMOLF) en industriƫle partner ASML op te starten.

Open Technologieprogramma
Het Open Technologie programma (OTP) staat open voor excellent onderzoek gericht op de mogelijke implementatie van de resultaten. Het stelt bedrijven en andere organisaties in staat betrokken te raken bij wetenschappelijk onderzoek dat leidt tot bruikbare kennis. In totaal kent het NWO-domein Toegepaste en Technische Wetenschappen financiering toe aan zes onderzoeksprojecten via het Open Technologieprogramma.