De miniaturisering van micro-elektronica gaat zo snel dat het steeds moeilijker wordt om de kleinste geproduceerde details te visualiseren, wat cruciaal is om computerchips sneller en hun productie efficiënter en dus duurzamer te maken. In NANOXUV zullen de onderzoekers nieuwe lichtbronnen op basis van een korte golflengte ontwikkelen die het mogelijk maken deze structuren te zien. Verder zullen zij beginnen met het ontwerpen van op maat gemaakte structuren die zelf kortgolvige straling uitzenden die de structurele parameters van de genererende structuur codeert.
Peter Kraus is verheugd zijn onderzoeksproject samen met medeaanvrager Femius Koenderink (AMOLF) en industriële partner ASML op te starten.
Open Technologieprogramma
Het Open Technologie programma (OTP) staat open voor excellent onderzoek gericht op de mogelijke implementatie van de resultaten. Het stelt bedrijven en andere organisaties in staat betrokken te raken bij wetenschappelijk onderzoek dat leidt tot bruikbare kennis. In totaal kent het NWO-domein Toegepaste en Technische Wetenschappen financiering toe aan zes onderzoeksprojecten via het Open Technologieprogramma.