Microscopie met EUV-straling zou een grote reeks nieuwe mogelijkheden opleveren in wetenschap en technologie vanwege de unieke combinatie van hoge resolutie, penetratiediepte, en element-specifiek contrast op een grote verscheidenheid aan materialen. Vooral compacte EUV-microscopen op basis van bronnen met hoge harmonische generatie (HHG) zijn veelbelovend voor de materiaalkunde. Huidige EUV-detectoren zijn echter traag en niet geoptimaliseerd voor toepassingen met weinig licht.
In dit Vici-project gaan Witte en zijn team een nieuwe benadering van EUV-beeldvorming introduceren die geoptimaliseerd is voor HHG-bronnen met een hoge herhalingssnelheid. Samen met de industriële partners ASML en ASI gaan ze een beeldsensor ontwikkelen die enkele fotonen kan detecteren met een gevoeligheid die slechts beperkt wordt door de quantum ruis van de detector. Deze beeldsensor kan zelfs data vastleggen van snel bewegende samples. Door het project wordt snelle HHG-gebaseerde beeldvorming van nanostructuren mogelijk.
Vici-financiering
De Vici-financiering maakt samen met de Veni- en Vidi-beurzen deel uit van het NWO-Talentprogramma. Vici is gericht op senior-onderzoekers die hebben aangetoond met succes een eigen vernieuwende onderzoekslijn tot ontwikkeling te kunnen brengen. Onderzoekers die een Vici-beurs krijgen toegekend mogen een eigen onderzoeksgroep opbouwen, vaak vooruitlopend op een structurele hoogleraarspositie. In totaal ontvangen twaalf wetenschappers uit de wetenschapsdomeinen Toegepaste en Technische wetenschappen (TTW) en Gezondheidsonderzoek en Zorginnovatie (ZonMw) een Vici-financiering.
Afbeelding: Stefan Witte, ARCNL