Simulation of Tin Pl asmas & Theory of Laser Light Absorption
In onze samen
leving zijn computerchips hard nodig. De eerste stap van het maken va
n computerchips is het beschieten van plakjes siliconen met extreem u
ltraviolet (EUV) licht; dit heet (nano)lithografie. De wetenschap is
daarom op zoek naar efficiëntere nanolithografie-technieken.
Via computersimulaties heb ik een nieuwe techniek van EUV-licht produ
ceren onderzocht. Ik keek hierbij o.a. naar de hoeveelheid licht die
daarbij geproduceerd wordt, maar ook naar de emissie van schadelijke
ionen. Deze resultaten worden nu in het lab gecheckt.
Daarnaas
t heb ik theoretisch onderzoek gedaan naar absorbtie van laserlicht i
n een plasma. Plasma-elektronen in een lichtveld gedragen zich anders
dan vaak vernomen wordt, en dit heeft invloed op de sterkte van lich
tabsorptie. Door dit zorgvuldig door te rekenen heb ik een nieuwe for
mule afgeleid die lichtabsorptie beter beschrijft. Dit resultaat is n
iet alleen interessant voor (toekomstige) lithografietechnieken, maar
ook voor kernfusie.
Mijn simulaties tonen aan dat EUV-producti
e door middel van een lange lichtpuls in principe meer energie kan op
wekken dan de huidige techniek. Door meer EUV per druppel tin te prod
uceren, kunnen computerchips nog sneller gemaakt worden. Hierbij word
en echter ook meer hoogenergetische ionen geproduceerd, en deze kunne
n op den duur de efficiëntie van de machine verminderen; hier moet i
n de praktijk rekening mee gehouden worden.
Mijn theoretisch o
nderzoek naar lichtabsorptie laat zien dat het gedrag van plasma-elek
tronen in een lichtveld vrij gemakkelijk kan worden meegenomen in ber
ekeningen van lichtabsorptie. De invloed van het licht leidt tot een
simpele verandering van één grootheid: het zogenaamde Coulomblogari
tme. Al met al verwachten we: hoe sterker het licht, hoe minder absor
ptie er plaatsvindt.
Als deze nieuwe techniek in de praktijk oo k nuttig blijkt, kan dit voor de chipindustrie een snellere manier va n computerchips produceren betekenen. En snellere productie betekent groter aanbod en dus lagere prijzen.
Meer informatie over het p roefschrift volgt.
DESCRIPTION: Simulation of Tin Plasmas & Theory of Laser Light Abs orption In onze samenleving zijn computerchips hard nodig. De eerste stap van het maken van computerchips is het beschieten van plakjes si liconen met extreem ultraviolet (EUV) licht; dit heet (nano)lithograf ie. De wetenschap is daarom op zoek naar efficiëntere nanolithografi e-technieken.